在高能作用下，原子及分子可生成荷电质点或裂解成荷电的分子碎片，加以分离记录而得到的图谱。质谱分析方法具有极高的灵敏度。用质谱方法测定14C的含量可确定古物或岩石的年龄以及用于测定有机化合物的结构等。